本文介绍了一种新型的基于微系统技术的微型夹爪。这种夹爪用硅或玻璃为原材料,其尺寸微小紧凑,装夹动作灵活并且结合了传感器性能,在微机械加工的装夹方面崭露头角。它提供了一种微型夹具设计和制造的新途径,在微系统元器件的生产和装配中将发挥重要的作用。
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